ICP還可以作為原子化器，如以空心陰燈為光源，ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器，以ICP為中心，在周圍安裝多個檢測單元(每一元素配一個檢測單元),形成了多元素分析系統.

電感耦合等離子體發射光譜儀可以進行冶金礦業中雜質元素和主量元素的含量分析。

多電感耦合等離子體發射光譜儀是領域無機分析能手，環境中大氣、水質、土壤和固廢污染物中無機元素分析； 食品藥品中營養元素和污染元素的定性定量分析；

電感耦合等離子體發射光譜儀具有自主封裝技術的高速 CCD 數采系統，可以對紡織品、玩具、催化劑、石油等各種樣品進行無機元素分析。

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